Hitachi日立高新白光干涉顯微鏡VS1800日立高新技術科學公司于2019年3月起，在中國開始銷售利用光干涉原理進行非接觸式無損傷三維表面形態測量的納米尺度3D光學干涉測量系統“VS1800”，該產品搭配有支持多目的表面測量標準“ISO 25178*1參數對比工具”，通過簡單而準確的樣品測量支持客戶的分析業務，與此同時，憑借不斷創新積累的三維測量性能，實現高精度、高分辨率的表面性狀的測量。