Hitachi日立高新掃描探針顯微鏡控制器標準配備改良過的測量參數自動調整功能，以及簡單明了的圖形用戶界面。因此，即使是剛剛接觸SPM的人，或者測量某種全新的樣品時，也能取得具有較高再現性的數據。

Hitachi日立高新掃描探針原子力顯微鏡5300E是一款環境型原子力顯微鏡，它的環境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環境中進行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。

Hitachi日立高新全自動型原子力顯微鏡5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換，激光對中，測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察分析。